EKUSA  半導(dǎo)體用超純水氟樹脂制加熱器EHS型  

EKUSA  半導(dǎo)體用超純水氟樹脂制加熱器EHS型  

特征：

高純度、可靠性和可維護性

高純度產(chǎn)品
所有與液體接觸的部件均由PFA制成
無雜質(zhì)洗脫
低溫加熱器，壽命長。
可與氫氟酸水一起使用。
可靠性
● 最大正常工作壓力為0.4MPa
● 無雜質(zhì)洗脫
● 低溫設(shè)計加熱器，壽命長
● 可使用氫氟酸水
維護：
- 使用低溫加熱器，因此壽命是半長久性的，無需更換加熱器。
- 結(jié)構(gòu)緊湊，安裝簡便
- 可以遠程控制。

產(chǎn)品型號：EHS-1、EHS-2、EHS-3、EHS-4、EHS-5、EHS-6

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化學品：SHINETSU 信越化學、THREEBOND 三鍵、TOAGOSEI 東亞合成、三井化學MITSUI、KONISHI小西、

設(shè)備類產(chǎn)品: 、 ONIKAZE 赤松、 SHOWADENKI 昭和電機、、 OSAWA大澤、TROAY東麗 、EOLUS真空企業(yè)株式會社、KOTOHIRA琴平工業(yè)、REVOX萊寶克斯、SONIC索尼克、TOPCON拓普康、CCS光源、MASDAC 隧道式烘烤爐、鈴與工業(yè)株式會社 納豆生產(chǎn)設(shè)備、IKURATOOLS育良精機、 ANLET安耐特、ARIMITSU有光工業(yè)、Kitagawa北川、

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小眾產(chǎn)品：IRI軟水機、USUTANI臼谷電子 點焊機、CNK磁性分離器、HIMU 靜音消除器、NAC油水分離器、BL DYNAMICS氣泡發(fā)生裝置、工業(yè)CT無損檢測 國產(chǎn)（可提供技術(shù)支持與方案）、hibikicorp、

新能源動力電池： 日本旭精工、熊谷理機

NAKA仲精機/固定工件/卡盤